8-дюймовое оборудование для формирования ионного луча (IBS) Lorem®A. (Лорем® Серия А)

8-дюймовое оборудование для формирования ионного луча (IBS).

Технические характеристики

• Дополнительные электроды серии Lorem® A диаметром 8/6/4 дюйма, подходящие для пластин разных размеров.
• Если настроен источник ионов стандартного диаметра, однородность травления (1 σ) может достигать < 3%, также может быть настроен источник ионов большого диаметра, а однородность травления (1 σ) может достигать < 2%.
• Предметный столик можно отклонять (наклонять), а диапазон отклонения составляет от -90° до +80° для достижения наклонного падения ионного пучка.
• В ходе процесса предметный столик может вращаться.
• Обеспечивает различные комбинации камер, такие как однокамерные и многокамерные типы.

Выбор оборудования.

Heverlee®Lorem®A

Haasrode® Lorem® A

Данные процесса.

MTJ-травление.

Та офорт

Обычное оборудование IBS серии Lorem ® A использует сетку источника ионов для извлечения положительных ионов и их ускорения. Нейтральный луч попадает на поверхность образца и распыляется, образуя изображение травления. Поскольку плазма генерируется далеко от пространства пластины, на воспламенение не влияют нелетучие побочные продукты. Это физическое решение можно использовать для травления практически любого твердого материала, включая металлы, сплавы, оксиды, соединения, смешанные материалы, полупроводники, изоляторы и т.д. Энергию и плотность ионного луча, вытягиваемого сеткой, можно контролировать независимо, что улучшает управляемость процесса. Угол несущей ступени можно регулировать для достижения наклонного падения ионного луча, что можно использовать для травления специальных рисунков и также подходит для очистки боковых стенок и других процессов.