Открытая кассета, вафельная кассета помещается в автоматическую передаточную коробку, которая может фиксировать пластину и входить в загрузочный порт SMIF для транспортировки, обеспечивая сохранность 200-миллиметровых пластин при транспортировке и хранении между технологическими станциями.
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
8-дюймовый межфланцевый модуль SMIF |
По запросу |
JoomShopping Download & Support