Ступени нанопозиционирования

Ступень нанопозиционирования производит смещение и усилие, создаваемые пьезо-элементами, через механический гибкий шарнир. Механизм может быть представлен в исполнении: прямого привода и усиленного привода.

Стадии пьезо-нанопозиционирования

Ступень нанопозиционирования приводятся в действие пьезоприводами в сочетании с гибким шарнирным механизмом для произведения движения X/Z/XY/ XZ/XYZ. Максимальный диапазон перемещения составляет до 300 мкм. Может быть оборудована высокоточным датчиком интегрированным для достижения наноразрешения и точности позиционирования с чрезвычайно высокой надежностью. Обладает такими характеристиками, как малый размер, быстрый отклик и т.д.

Характеристики

Прямой привод


Усиленный привод


Типы сенсоров


Различные размеры диафрагмы



Сравнение прямого и усиленного привода



Применение
  • Сканирующий микроскоп
  • Регулировка оптического пути
  • Лазерная интерференция
  • Нанолитография, биотехнологии
  • CCD Обработка изображений
  • Нано печать
  • Технология нанометровых манипуляций
  • Оптическая связь
  • Наноизмерения
 
 











Список продукции

Тип Модели Оси Ход[μm] Диафрагма[mm] Нагрузка[kg] Резонансная частота[kHz] Разрешение[nm] Механизм
P77 P77.S/K242 Z 17.5 Φ242 15 3.09 0.2 Прямой
P77 P77.30S/K140 Z 16/32 Φ140 5 0.2 0.2 Прямой
P77 P77.S/K310 Z 17 Φ310 12 1.5 0.2 Прямой
P77 P77.S/K154 Z 20 Φ155 25 1.3 0.2 Прямой
P77 P77.S/K106 Z 17.5 Φ106 15 0.3 0.2 Прямой
P77 P77.S/K106A Z 17.5 Φ106 10 0.15 0.2 Прямой
P77 P77.S/K36 Z 17.5 Φ36 7 0.3 0.2 Прямой
P77 P77.S/K160 Z 17.5 Φ160 10 0.14 0.2 Прямой
P77 P77.S/K160A Z 17.5 Φ160 10 0.12 0.2 Прямой
P77 P77.S/K210 Z 17.5 Φ210 10 0.1 0.2 Прямой
P77 P77.50S/K85 Z 50 Φ85 3 1.1 0.4 Прямой
P77A P77A.K65 Z 20 Φ65 5 1.4 0.2 Прямой
P77A P77A.50K65 Z 50 Φ65 3 1.4 0.5 Прямой
P77A P77A.100S/K75 Z 100 Φ75 3 0.35 1 Усиленный
P78 P78.Z100 Z 100 120×70 1 0.4 1 Усиленный
P78 P78.Z200 Z 187.5 64×64 1 0.27 1.5 Усиленный
P78 P78.Z300 Z 262.5 64×64 0.5 0.2 2.5 Усиленный
P78A P78A.Z200 Z 200 Φ25 2 - 3 Усиленный
P79 P79.Z100 Z 100 83×65 2 0.2 1 Усиленный
P79 P79.Z200 Z 187.5 83×65 1.5 0.15 1.5 Усиленный
P79 P79.Z200-D1 Z 200 86.5×128.5 1.5 0.1 2 Усиленный
P79 P79.XYZ50 XYZ 50/ось 84×65 0.5 X0.52/Y0.63/Z0.49 0.5 Усиленный
P79 P79.XYZ50-B2 XYZ 50/ось 84×65 0.5  X499/Y589/Z470 0.5 Усиленный
XD106 XD106.XYZ200 XYZ XY200Z100 Φ50 0.7 X0.18/Y0.18/Z0.25 2 Усиленный
XD107 XD107.XY100Z20 XYZ XY100Z80 50×50 0.4  XY0.22/Z0.16 1 Усиленный
XD781 XD781.100 Z 100 191.2×140.4 1 0.3 1 Усиленный
XP-780 XP-780.X X 200 25×25 5 0.2 2 Усиленный
XD701 XD701.150S/K Z 150 Φ20 2 0.4 2 Усиленный
18130 18130 Z 90 128×60 - - - Усиленный
19113 19113 Z 500 127×87 0.6 - - Усиленный
20142 20142 XY 10/ось Φ33 0.15 ≥ 0.5 - Усиленный
20180 20180 XYZ XY80Z15 20×20 0.5  X0.47/Y0.59/Z0.9 Более, чем 10.7 Усиленный
20190 20190 XY 200/ось 86×86 40 0.16 - Усиленный
21041 21041 Z 80 156×132 3 - - Усиленный
21102 21102 XY 15/ось Φ37 0.2 >2.5 2 Усиленный
Сортировка: ↑↓ 
Количество:
Copyright MAXXmarketing GmbH
JoomShopping Download & Support