8-дюймовое оборудование для травления кремния Tebaank® Pishow®P

8-дюймовое оборудование для травления кремния.

Технические характеристики

Оборудование для травления кремния Tebaank® Pishow®P — это оборудование массового производства для производства 8-дюймовых интегральных схем.

Оборудование состоит из камеры индуктивно-связанного плазменного травления (камера травления ICP) и модуля переноса.

Подходит для поликремниевых затворов (полизатворов), прокладок (спейсеров), изоляции неглубоких траншей (STI) толщиной 0,11 микрона и других поколений технологий.

Данные процесса:

Тренч 3 мкм

0,4 мкм Траншея

0,25 мкм траншейный

2 мкм Поли

0,18 мкм Поли

Оборудование для травления кремния Tebaank® Pishow®P представляет собой многополостное оборудование для массового производства затворов на линиях по производству 8-дюймовых микросхем. Оно имеет оптимизированную конструкцию собственной разработки и обеспечивает превосходную однородность травления (<5% внутри чипа), межчиповый <5%) и контроль частиц.

Предоставляем решения для травления для AA, ворот, STI, прокладок, W-выемок и других процессов.

Экономичное решение оборудования и превосходное использование пространства могут помочь клиентам модернизировать свои производственные мощности.