Основные технические характеристики Scios 2 LoVac
|
Параметр |
Значение |
|
Модель |
Scios 2 LoVac |
|
Тип |
Двухлучевой FIB-SEM (фокусированный ионный пучок + сканирующий электронный микроскоп) |
|
Тип электронной колонны |
Высоковакуумная с полевой эмиссией (Schottky FEG) |
|
Разрешение SEM |
До 0.8 нм при 30 кэВ (в высоком вакууме) |
|
Тип ионной колонны |
Жидкометаллический источник ионов (LMIS), Ga⁺ |
|
Разрешение FIB |
До 3 нм при 30 кэВ |
|
Напряжение ускоряющего пучка (SEM) |
200 В – 30 кэВ |
|
Напряжение ускоряющего пучка (FIB) |
500 В – 30 кэВ |
|
LoVac режим (низковакуумный) |
Да — возможность работы в режиме низкого вакуума (до 130 Па) для анализа непроводящих и гидратированных образцов без напыления |
|
Максимальный ток ионного пучка |
До 65 нА |
|
Система газового напуска |
До 4 каналов для осаждения металлов (Pt, W) и избирательного травления |
|
Система навигации |
Оптическая, рентгеновская (EDS) и электронная навигация |
|
Детекторы |
ETD (SE), TLD (SE/BSE), ICE (BSE), STEM-детектор, EDS (опционально), EBSD (опционально) |
|
Размер образца |
До 100 мм в диаметре, высота до 50 мм |
|
Вакуумная система |
Турбомолекулярные насосы, форвакуумный насос |
|
Управление |
Промышленный ПК с программным обеспечением Thermo Fisher для автоматизации процессов (микроскопия, FIB-обработка, 3D-томография) |
|
Габариты (Ш × Г × В) |
Примерно 1.2 × 1.0 × 1.8 м |
|
Масса |
Примерно 800–1000 кг |
|
Напряжение питания |
200–240 В, 1 фаза, 50/60 Гц |
|
Потребляемая мощность |
Примерно 2–3 кВт |
Типовые применения
|
Анализ отказов (failure analysis) |
Исследование дефектов в полупроводниковых устройствах, металлизации, контактных структурах |
|
Подготовка ламелей для TEM |
Прецизионное вырезание тонких образцов (ламелей) для просвечивающей электронной микроскопии |
|
3D-томография |
Последовательное травление ионным пучком и визуализация для реконструкции 3D-структуры образца |
|
Материаловедение |
Изучение металлов, сплавов, керамики, полимеров, композитов |
|
Нано-литография и прототипирование |
Создание наноструктур с помощью ионного пучка |
|
Биология и биоматериалы |
Исследование биологических образцов в низковакуумном режиме без предварительной подготовки |
Производство: США
JoomShopping Download & Support