Спектроскопический эллипсометр SE-2000

Технические характеристики

SE-2000 обладает самым широким спектральным диапазоном, доступным на одном приборе. Диапазон - от глубокого УФ (190 нм) до среднего ИК (25 мкм). Инструмент уникально предлагается с дополнительной эллипсометрической головкой FTIR на том же угломере с видимыми рычагами. Он может быть настроен на режим быстрого обнаружения с помощью спектрографа и матрицы детекторов, на режим высокого разрешения с помощью спектрометра и одноточечных детекторов или на оба режима вместе на одном инструменте. SE-2000 включает в себя новую интеллектуальную электронику Semilab со сменными компонентами и работает с программным обеспечением для управления и анализа нового поколения (SAM / SEA). Системой можно управлять с ПК или ноутбука через локальную сеть или с помощью нового интерфейса сенсорной панели.

Режимы измерения:

• Спектроскопическая эллипсометрия для определения толщины тонкой пленки и оптических функций, включая сложные многослойные структуры
• Обобщенная эллипсометрия для анизотропных материалов
• Просвечивающая эллипсометрия для прозрачных подложек
• Зависимость рассеяния от длины волны и угла падения
• Матрица Мюллера (11 или 16 элементов), уникально предлагаемая в сочетании со скаттерометрией для трехмерных анизотропных материалов
• Матрица Джонса для простых анизотропных материалов
• Коэффициент отражения и пропускания в зависимости от длины волны и угла падения
• Поляриметрия
• Порометрия: Измерения размера пор и пористости в тонких пленках
• Режим измерения на месте для контроля в режиме реального времени в процессе нанесения или травления

Опции:

• Этап отображения (X, Y, Z, вращение), ручной или автоматический
• Микрошарик (стандартный и сверхмалый - настройка подлежит обсуждению)
• Ячейки для окружающей среды: криостат, жидкостная ячейка, ячейки для охлаждения и нагрева образцов, ячейка QCM
• Камера атмосферной порозиметрии
• Камера визуализации
• Спектроскопический рефлектометр
• Определение расширенного спектрального диапазона
• Возможность интеграции других полулабораторных метрологий (4pp, Eddy и др.)