Спектроскопический эллипсометр SE-1000

Технические характеристики

SE-1000 обеспечивает модульность и высокую производительность измерений при компактном размещении на столешнице. Этот экономичный инструмент включает ручной гониометр и ручное позиционирование образцов, подходящий для научно-исследовательских лабораторий. Он выполняет бесконтактные и неразрушающие оптические измерения на подложках, однослойных и многослойных образцах для получения индивидуальной толщины тонкой пленки и оптических свойств. SE-1000 включает в себя новую интеллектуальную электронику Semilab со сменными компонентами и работает с операционным и аналитическим программным обеспечением нового поколения (SAM / SEA). Системой можно управлять с ПК или ноутбука через локальную сеть или с помощью нового интерфейса сенсорной панели.

Режимы измерения:

• Спектроскопическая эллипсометрия с вращающимся компенсатором
• Обобщенная эллипсометрия для анизотропных образцов
• Матрица Мюллера 11 коэффициентов
• Матрица Джонса
• Порометрия: измерения распределения пор по размерам и пористости в тонких пленках
• Режим измерения на месте для контроля в режиме реального времени в процессе нанесения или травления

Опции:

• Микрошарик
• Расширение спектра в ближнем инфракрасном диапазоне
• Атмосферная тонкопленочная порометрия
• Стадии охлаждения и нагрева жидкостных элементов
• Камера визуализации
• Спектроскопический рефлектометр
• Жидкостная ячейка, стадии охлаждения и нагрева