Спектроскопический эллипсометр от рулона к рулону R2R SE

Технические характеристики

Немедленное определение однородности пленки является важным фактором для контроля качества нанесения покрытия на месте. Спектроскопическая эллипсометрия (SE) как метод измерения обеспечивает быстрые и надежные измерения, необходимые для определения характеристик тонкопленочных покрытий на тонких фольгированных подложках. Новая метрологическая платформа Semilab R2R SE позволяет определять толщину слоя и показатель преломления непосредственно после нанесения покрытия на движущуюся от рулона к рулону фольгу "на лету" со временем сбора данных менее 100 мс на точку.

Особенности и технические характеристики системы:

• Быстрый и точный анализ многослойных покрытий - функция обратной связи при оценке
• Последовательная (пошаговая) оценка только одного слоя за раз, без необходимости выполнения полного анализа стопки.
• Устранение рассеянного света, отраженного от обратной стороны прозрачной подложки
• Размер пятна: 500 мкм при 633 нм
• Спектральный диапазон: видимый / Ближний

Контроль поточности:

• Коэффициент отражения
• Толщина слоя
• Содержание Ga (CIGS)
• Проводимость (TCO)
• Шероховатость