Спектрометр с переходными процессами глубокого уровня DLS-83D

Технические характеристики

DLS-83D предлагает полностью автоматический режим измерения, а также обеспечивает полную интерпретацию измеренных данных, включая идентификацию примесей и определение концентрации, без какого-либо взаимодействия с пользователем.

Спектроскопия переходных процессов глубокого уровня (DLTS) - лучший метод мониторинга и характеристики глубоких уровней, вызванных намеренно или непреднамеренно введенными примесями и дефектами в полупроводниковых материалах и комплектных устройствах. Это чрезвычайно универсальный метод для определения всех параметров, связанных с глубокими ловушками, включая уровень энергии, поперечное сечение захвата и распределение концентрации. Он позволяет идентифицировать примеси и способен обнаруживать концентрации загрязнений ниже 109 атомов/ см3.

Особенности и системные спецификации:

• Высочайшая чувствительность (109 атомов/см3) для определения следовых уровней загрязнения
• Взаимодействие с широким спектром криостатов
• Широкий диапазон режимов измерений:
  • температурный анализ
  • частотное сканирование
  • глубинное профилирование
  • определение характеристик C-V
  • измерение поперечного сечения
  • оптическая инжекция
  • контур обратной связи с постоянной емкостью
  • измерения переходных процессов электропроводности
• Распределение плотности состояния интерфейса MOS
• Управляются цифровыми и аналоговыми настройками для обеспечения реальной простоты эксплуатации
• Проверка качества образцов методом I-V, C-V
• Полное компьютерное управление с обширной программной поддержкой, полная библиотечная база данных для точной идентификации загрязнений