Специализированный стенд для тестирования компонентов TZ-606T

Технические характеристики

Представляет собой автоматизированную систему для тестирования полупроводниковых пластин с функциями автосовмещения, автоматического позиционирования начальной точки измерений и интеллектуального распознавания ID маркировки. Оборудование поддерживает как одиночные, так и последовательные измерения.

• Диаметры тестируемых пластин: 4", 5", 6";
• Максимальный ход рабочего стола: 180×240 мм;
• Скорость позиционирования: ≥200 мм/с;
• Точность позиционирования: ≤±0,005 мм/160 мм;
• Разрешение шага: 0,001 мм;
• Ход по оси Z: 10 мм;
• Точность позиционирования по Z: ≤±0,003 мм;
• Разрешение по оси Z: 0,001 мм;
• Регулировка угла θ: ±10°;
• Угловое разрешение θ: 0,0013°;
• Способ загрузки пластин: ручной;
• Габариты (основной блок): 700×800×800 мм