Бесконтактные системы профилирования удельного сопротивления ACV-2200, ACV-3000, ACV-3100

Технические характеристики

Системы ACV обеспечивают 100% бесконтактное неразрушающее измерение удельного сопротивления слоя epi с помощью запатентованной технологии. Физика, лежащая в основе измерения, очень похожа на CV-зонд Шоттки или Hg-зонд, и, таким образом, на выходе получается традиционный профиль легирования CV. Разница заключается в том, что электрод не соприкасается с пластиной, что приводит к существенной экономии затрат на пластины монитора.

Модель включает в себя полную автоматизацию, мощное программное обеспечение и превосходную повторяемость измерений.

Технические характеристики

• Количество точек измерения, площадь измерения: Количество точек измерения не ограничено
• Глубина измерения профиля: Как и в случае MOS CV, глубина зависит от удельного сопротивления и поверхностного заряда
• Измерение всех типов подложек Epi: p/p+, n/n+, p/p-, n/n +/p+, голой поверхности n или p. Другие структуры, такие как p / n или n / p, возможны на основе предпродажной демонстрации.