Бесконтактный измеритель удельного сопротивления COREMA-2000

Технические характеристики

Система COREMA-2000 компании Semilab основана на бесконтактном емкостном методе, используемом для точного определения удельного сопротивления полупроводниковых материалов с полуизолирующими соединениями в широком диапазоне удельного сопротивления, что полезно для промышленности по производству устройств.

Знание однородности значений удельного сопротивления и подвижности имеет решающее значение для оптимизации процесса.

Составление карт имеет решающее значение для процессов контроля качества полуизолирующих полупроводников, поскольку они показывают неоднородности, возникающие в процессе производства

Применение

• Измеряет составные полупроводники: GaAs, SiC, GaN, CdTe, InP
• Измерение удельного сопротивления сложных полупроводников в широком диапазоне (1x105-1x1012 Омсм)

Характеристики

• Ручная обработка пластин диаметром до 200 мм
• Возможность отображения
• Цветное отображение топограммы полной пластины
• Полуавтоматическое пневматическое размещение
• Удобное программное обеспечение для управления измерениями

Преимущества

• Бесконтактное неразрушающее измерение по всей поверхности пластины
• Быстрая оценка
• Превосходная повторяемость
• Калибровка не требуется