Маскировщик ELS106SA-B

Размер работы

ψ 50 мм ~ 150 мм пластина или
макс. Подложка 150 мм x 150 мм

Размер маски

4" ~ 7" Кварц или натриевая известь

Лампа

250 Вт

Диапазон длин волн

Широкая полоса
( i линия  365 нм / ч линия  400 нм / g линия  436 нм )

Интенсивность света

> 16 мВт/^см2 при 365 нм (250 Вт)
> 40 мВт/^см2 при 365 нм (500 Вт)

Источник лампы

Лампа высокого ртутного столба

Равномерность интенсивности света

< 3% в пересчете на пластину диаметром 4 дюйма

Эффективная площадь воздействия

Макс. 150 мм x 150 мм

Компенсационная система выравнивания

Автоматически

Контакты

Автоматически

Режим экспозиции

Бесконтактный / Мягкий контакт / Жесткий контакт /
Вакуумный контакт

Система выравнивания

С помощью ПЗС-матрицы, приводимой в действие ручным методом

Точность юстировки

±1μм для выравнивания
верхней стороны ±3μм для выравнивания нижней стороны

Разрешение L/S

1μм в зависимости от режима контакта и толщины PR 1μм

Антивибрационный стол

Да

Управление системой

ПК

Опция:

Фильтр для резки
500 Вт лампа
DUV Лампа
Интегральный расчет функции светового объема
Измеритель мощности

Модель

ELS106SA-В

Модель

Стоимость, доллары США

ELS106SA-B

По запросу