Маскировщик ELS106SA

Размер работы

ψ50 мм ~ 150 мм пластина или
макс. Подложка □ 150 мм x 150 мм

Размер маски

4" ~ 7" Кварц или натриевая известь

Лампа

250 Вт

Диапазон длин волн

Широкая полоса
( i линия 365 нм / ч линия  400 нм / g линия  436 нм )

Интенсивность света

> 16 мВт/^см2 при 365 нм (250 Вт)
> 40 мВт/^см2 при 365 нм (500 Вт)

Источник лампы

Лампа высокого ртутного столба

Равномерность интенсивности света

< 3% на основе Dia. 4" пластины

Эффективная площадь воздействия

Макс. 150 мм x 150 мм

Компенсационная система выравнивания

Автоматически

Контакты

Автоматически

Режим экспозиции

Бесконтактный / Мягкий контакт / Жесткий контакт /
Вакуумный контакт

Система выравнивания

С помощью ПЗС-матрицы, приводимой в действие ручным методом

Точность юстировки

±1м

Разрешение L/S

1μм в зависимости от контактного режима и толщины PR 1μм

Антивибрационный стол

Да

Контроль системы

ПК

Опция:

Фильтр для

500 Вт лампа
DUV Лампа
Интегральный расчет функции светового объема измеритель мощности

Модель

ELS106SA

Модель

Стоимость, доллары США

ELS106SA

По запросу