Маскировщик ELS108SA

Размер работы

ψ150 мм ~ 200 мм пластина или
макс. Подложка 200 мм x 200 мм

Размер маски

7" или 9" кварцевая или содовая известь

Лампа

660 Вт ~ 940 Вт

Диапазон длин волн

Широкая полоса
( i линия 365 нм / ч линия 400 нм / g линия 436 нм)

Интенсивность света

> 20 мВт/^см2 при 365 нм

Источник лампы

УФ-ртутная лампа

Равномерность интенсивности света

< 3% в пересчете на пластину диаметром 8 дюймов

Эффективная площадь воздействия

Макс. 200 мм x 200 мм

Компенсационная система выравнивания

Автоматически

Управляемый контактом

Автоматически

Режим экспозиции

Бесконтактный / Мягкий контакт / Жесткий контакт /
Вакуумный контакт

Система выравнивания

С помощью ПЗС-матрицы, приводимой в действие ручным методом

Точность юстировки

±1м

Разрешение L/S

1μм в зависимости от контактного режима и толщины PR 1μм

Антивибрационный стол

Да

Управление системой

База ПК

Опция:

Режущий фильтр
DUV лампа
Патрон для сломанной пластины
Интегральный расчет функции светового объема
Измеритель мощности 

Нижняя боковая система выравнивания

Модель

Стоимость, доллары США

ELS108SA

По запросу