Технические характеристики
Серия инновационных машин для полноповерхностной литографии iAS подходит для экспонирования больших площадей микросветодиодов и упаковки, разветвления и экспонирования больших 2,5D/3D чипов в областях производства дисплеев высокого класса, подложек для упаковки, усовершенствованной упаковки и т. д.
- Поддерживает экспонирование чипов любого размера, круглых и квадратных пластин;
- Поддерживает экспозицию любой комбинации спектра линий ghi; дополнительный светодиодный источник света;
- Поддерживает такие режимы выравнивания, как глобальное выравнивание, выравнивание по полям и сканирующее выравнивание.
Технические параметры
|
Имя устройства |
iAS3000 |
iAS5000 |
iAS9000 |
|
Максимальное разрешение |
1мкм |
||
|
Максимальный размер подложки |
Φ300мм/200мм/150мм |
515x510мм |
730x920мм |
|
Источник света |
Ртутная лампа/светодиодная лампа |
Светодиодный свет |
Светодиодный свет |
|
Точность выравнивания |
300 нм |
500 нм |
500 нм |
|
Точность выравнивания |
500 нм |
500 нм |
500 нм |
|
Равномерность освещения |
≤3% |
≤3% |
≤3% |
|
Приложение |
Разветвленные и большие чипы 2.5D/3D |
Упаковочный субстрат |
Микро-светодиодный дисплей |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Машина для экспонирования большой площади серии iAS |
По запросу |
JoomShopping Download & Support