Машина плазменной резки и травления HSE D300

HSE D300 — это машина плазменного травления высокой плотности, подходящая для плазменной резки кремния диаметром 6/8/12 дюймов. Он имеет такие преимущества в производительности, как высокая скорость травления, высокая однородность травления и возможность контроля угла, а также низкий уровень контроля частиц. Это оборудование просто в обслуживании, имеет стабильную производительность и низкую стоимость владения. В настоящее время оно широко используется в процессах плазменной резки в передовых областях упаковки.

Технические характеристики

• Более высокая эффективность резки стружки (параллельная резка).
• Лучшие показатели измельчения частиц и выхода продукта, отсутствие повреждений при резке.
• Рамка/пластина, DAG/DBG совместимы.
• Подходит для резки штампов различных размеров и большого количества штампов.

Размер пластины: рама диаметром 380 мм и ниже.

Применимые материалы: кремний.

Применимый процесс: глубокая плазменная резка кремния.

Применимая область применения: усовершенствованная упаковка.