Машина для очистки кремниевых пластин

Технические характеристики

1. В машине используется импортная пластина Röschling, которая может работать в среде кислотной травления в течение длительного времени. Она прочная, долговечная и имеет двухслойную конструкцию, предотвращающую утечку.
2. Полностью автоматическая/ручная конструкция, труба печи автоматически вращается, а хвостовая часть имеет функцию промывки.
3. Кислоту можно перерабатывать и использовать повторно, а размер печной трубы можно промыть до полупроводникового размера 4–12 дюймов или других больших размеров.
4. В части управления используются импортные PLC и HMI. Все электрические цепи и цепи, которые могут контактировать с кислотным туманом, обработаны антикоррозийной изоляцией PFA. Электрические компоненты управления в электрическом шкафу заполнены CDA/N2 для их защиты.
5. Передняя часть машины оснащена пистолетом для чистой воды из PTFE и пистолетом для азота из PTFE с правой стороны.
6. Стандарты проектирования оборудования реализуются в соответствии со стандартами полупроводниковой промышленности (SEMI-S2-93), а система управления качеством ISO9001 стандартизирована и гарантирована.