Машина для очистки лодок с вертикальными/горизонтальными трубами серии Bpure

Вертикальные/горизонтальные машины для очистки труб и лодок серии Bpure широко используются в интегральных схемах, упаковке, фотогальванике и других областях. Он использует процесс обработки погружением и в основном используется для очистки кварцевых трубок/лодочек и трубок из карбида кремния диффузионного, эпитаксионного и другого оборудования размером 12 дюймов и меньше. Кроме того, его также можно использовать для очистки других кварцевых деталей, таких как кварцевые пластины, запальные пистолеты, изоляционные барабаны и т.д.

Технические характеристики

• Полностью автоматическая очистка, замачивание и распыление являются дополнительными процессами.
• Одна машина универсальна и совместима с очисткой кварцевых трубок /лодок/заготовок.
• Независимые исследования и разработка системы управления, дружественного интерфейса взаимодействия человека и компьютера.
• Автоматическая система дозирования жидкости, удобная замена кислоты.
• Иерархические настройки защитной блокировки для обеспечения безопасности и надежности оборудования.

Размер пластины: 8, 12 дюймов.

Применимые материалы: кварц, карбид кремния.

Применимый процесс: погружная очистка кварцевой трубки/корпуса, кварцевой пластины, пистолета зажигания, основания и других деталей.

Применимая область применения: интегральная схема, силовой полупроводник, составной полупроводник, область научных исследований.