Машина для очистки ACL SCRUBBER

Конфигурация устройства

2-4 камеры

Мощность оборудования

104 Втч

Материал подложки

Si, SiC, стекло, GaAs, InP, сапфир, LN, LT

Применимый процесс

Очистка входящего материала, очистка после CMP, очистка после маркировки, очистка обратной стороны, очистка остатков фоторезиста

Индикаторы процесса

Контроль частиц (≤20ea@0,12 мкм)

Контроль ионов металлов (Fe Ca: 5E9 атм/см)

Области применения

IC, силовые устройства, радиочастотная интеграция, полупроводниковая оптика, оптическая связь, научные исследования

Технические характеристики

·         Машина может быть совместима с различными размерами.

·         Технологическая камера оптимизирована и спроектирована, а высокопроизводительный FFU в сочетании с регулируемой по высоте чашкой CUP образует стабильный нисходящий поток на поверхности пластины, эффективно контролируя статические и динамические характеристики. окружающая среда в полости;

·         До трех распылителей и одного фиксированного сопла позволяют смешанное использование нескольких методов распыления для увеличения окна узлов процесса очистки (≤120 нм).

·         Рычаг использует электрический цилиндр для регулировки высоты; направление вверх и вниз, а также серводвигатель для регулировки направления поворота. Обеспечьте точную регулировку в любом положении и более широкий диапазон оптимизации процесса.

·         Механизм разделения газа и жидкости, который может использовать многослойную CUP для обеспечения раздельной выгрузки органических отходов и DIW.

Размер оборудования

2560*2513*2500(Ш*Д*В)

Модель

Стоимость, доллары США

Машина для очистки одинарной стружки ACL SCRUBBER.

Цена по запросу.