Машина для глубокого травления кремния HSE P300

HSE P300 в основном используется для травления кремния толщиной 12 дюймов. Структура кластера может уменьшить занимаемую площадь и увеличить производственные мощности. Система в основном состоит из модулей передачи, технологических модулей, компонентов «серой зоны», силовых шкафов и т.д. Он может осуществлять автоматическую загрузку и разгрузку, а также автоматический процесс.

Технические характеристики

• Используйте трехмерный источник плазмы высокой плотности, чтобы значительно увеличить скорость травления.
• Двойные источники плазмы и двухзонные воздухозаборники обеспечивают высокую однородность.
• Полностью автоматизированное программное управление, высокая производственная мощность.
• Низкая стоимость владения и эксплуатационные расходы.

Размер пластины: совместимость с 8/12 дюймами

Применимые материалы: кремний, оксид кремния, нитрид кремния.

Применимый процесс: травление глубоких канавок, травление глубоких отверстий, травление инкапсулированного кремниевого носителя веером, травление открытой меди и т.д.

Применимая область применения: усовершенствованная упаковка.