Машина для глубокого травления кремния PSE V300

PSE V300 в основном используется для травления кремния глубиной 12 дюймов, а также имеет процесс Bosch/Non-Bosch для достижения многопроцессного покрытия. Эта машина использует профессиональную и передовую аппаратную конфигурацию с быстрым откликом и программное управление процессом для циклического процесса Bosch. В сочетании с передовой технологией процесса она может обеспечить хорошую производительность процесса при сверхвысоком соотношении сторон. Она оснащена платформой с несколькими полостями. для удовлетворения потребностей крупномасштабного производства.

Технические характеристики

• Совместимость с процессами Bosch и другими производствами для обеспечения многопроцессорного охвата.
• Оптимизированная система впуска и система ESC для повышения равномерности.
• Система быстрого забора воздуха обеспечивает высокую скорость травления и небольшой зазор.
• Достигайте контроля морфологии с высоким соотношением сторон.

Размер пластины: совместимость с 8/12 дюймами.

Применимые материалы: кремний, оксид кремния, нитрид кремния.

Применимый процесс: 2.5D и 3D TSV-травление, изоляция глубоких канавок/емкостное травление, MEMS-травление.

Применимая область применения: интегральные схемы, усовершенствованная упаковка, силовой полупроводник, датчик изображения, микроэлектромеханическая система.