Машина для глубокого травления кремния HSE M200

HSE M200 в основном используется для процесса сухого травления кремния глубиной 4/6/8 дюйма. Могут быть настроены системы механической и автоматической трансмиссии. Продукт оснащен двумерными источниками плазмы высокой плотности, центральным краевым воздухозаборником, быстрым переключением газа и низкочастотной импульсной системой нижнего электрода, что позволяет достичь высокой скорости, высокого соотношения сторон, высокой однородности и минимальной шероховатости боковых стенок.

Технические характеристики

• Двойные источники плазмы и двухзонный воздухозаборник обеспечивают высокую равномерность травления и высокую скорость травления.
• Высокая совместимость, разнообразие типов процессов, широкий спектр применений и высокая надежность системы.
• Гибкая конфигурация системы, подходящая для различных областей применения в области исследований и разработок, пилотных линий и крупномасштабных производственных линий.
• Низкая стоимость владения и эксплуатационные расходы.

Размер пластины: 8 дюймов и ниже.

Применимые материалы: кремний, SOI, SOG.

Применимый процесс: глубокое травление кремнием.

Применимая область применения: микроэлектромеханические системы, области научных исследований.