Оборудование представляет собой полностью автоматическую экспонированную машину, которая в основном используется для автоматического выравнивания и экспонирования двусторонних шаблонов в процессе производства малых и средних интегральных схем и полупроводниковых компонентов. Этот продукт прост в эксплуатации, обладает высокой стабильностью, хорошей повторяемостью, высокой стоимостью и может широко использоваться в научных исследованиях и производстве.
Данное оборудование представляет собой полностью автоматическую экспонированную машину, которая в основном используется для автоматического выравнивания и экспонирования двусторонних моделей в процессе производства малых и средних интегральные схемы и полупроводниковые компоненты. Этот продукт прост в эксплуатации, обладает высокой стабильностью, хорошей повторяемостью и высокой стоимостью, а также может широко использоваться в научных исследованиях и производстве.
Основные технические характеристики
|
Параметры |
Технические |
Параметры |
Технические индикаторы |
||
|
Применимо к субстратам самого большого размера |
Макс. 6 дюймов |
Применимый максимальный |
Макс. 6 дюймов (φ150 мм) |
||
|
Применяется максимальный размер маски |
Макс 7 дюймов |
Применимый максимальный размер прицельной сетки |
Макс 7 дюймов (175×175 мм) |
||
|
Толщина пластины или подложки |
0,2~1,1 мм |
Толщина пластины или подложки |
0,2~1,1 мм |
||
|
Режим экспозиции |
Мягкое |
Режим экспозиции |
Мягкое касание, жесткое касание, вакуумное копирование |
||
|
Верстак |
Высочайшая точность выравнивания |
±1,5 мкм |
Рабочий стол |
Высочайшая точность выравнивания |
±1,5 мкм |
|
Точность выравнивания дна |
±3,5 мкм |
Точность выравнивания дна |
±3,5 мкм |
||
|
Система экспонирования |
Разрешение экспозиции |
1,5 мкм (толщина≤ |
Система экспозиции |
Разрешение экспозиции |
1,5 мкм (толщина клея≤1 мкм позитивный клей, вакуумный контакт) |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
BG-607S двухсторонняя автоматическая экспонирование |
По запросу |
JoomShopping Download & Support