Технические характеристики
Оборудование в основном используется для автоматического выравнивания и экспонирования в процессе производства малых и средних интегральных схем и полупроводниковых компонентов. Этот продукт прост в эксплуатации, обладает высокой стабильностью, хорошей повторяемостью, высокой стоимостью и может широко использоваться в научных исследованиях и производстве.
Оборудование в основном используется для автоматического выравнивания и экспонирования в процессе производства малых и средних интегральных схем и полупроводниковых компонентов, этот продукт удобен в эксплуатации, высокая стабильность, хорошая повторяемость и имеет высокую стоимость, может широко использоваться в научных исследованиях и производстве。
Технические параметры
|
Параметры |
Технические индикаторы |
Параметры |
Технические индикаторы |
|
Применимый размер подложки |
6″、8″ |
Размер субстрата |
6″、8″ |
|
Применяется к размеру маски |
7″、9″ |
Размер маски |
7″、9″ |
|
Толщина пластины или подложки |
0,2~1,1 мм |
Толщина пластины |
0,2~1,1 мм |
|
Режим экспозиции |
Мягкое прикосновение, жесткое прикосновение, вакуумное копирование |
Режим экспозиции |
Мягкий контакт, Жесткий контакт, Вакуумное копирование |
|
Высочайшая точность выравнивания |
±1,5 мкм |
Высочайшая точность выравнивания |
±1,5 мкм |
|
Точность выравнивания дна |
±4 мкм |
Точность выравнивания дна |
±4 мкм |
|
Источник света экспозиции |
Ртутная лампа сверхвысокого давления мощностью 1000 Вт |
Источник света экспозиции |
UV-1000W Ртутная лампа сверхвысокого давления |
|
Источник света UVLED (длина волны 365 нм) |
UVLED (длина волны 365 нм) |
||
|
Разрешение экспозиции |
1,5 мкм (толщина≤ позитивный гель 1 мкм, вакуумный контакт). |
Разрешение экспозиции |
1,5 мкм (положительная толщина RP≤1 мкм, вакуумный контакт) |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
BG-800 Автоматическая машина экспонирования |
По запросу |
JoomShopping Download & Support