Интерфейсный модуль оборудования EFEM

Технические характеристики

EFEM от компании Gona использует робота фиксированного типа с многосуставным одноплечим механизмом и двойным захватом, что обеспечивает повышенную стабильность, высокую эффективность передачи пластин и соответствует строгим требованиям к чистоте при длительной эксплуатации.

Он имеет превосходную конструкцию системы управления внутренним воздушным потоком, которая гарантирует, что чистота микросреды внутреннего пространства соответствует требованиям стандарта ISO Class1.

Он совместим со всеми полустандартными картриджами FOUP, FOSB, OCS и метал.

Количество держателей пластин может быть настроено в соответствии с потребностями заказчика и может быть установлено на передней и задней стенках рамы (N=2、3、4、5).

Обеспечивают множество дополнительных функциональных конфигураций, считывание кода пластины, переворачивающий механизм и химический фильтр.

Ключевые особенности:

• Ионизирующая штанга;
• Световые завесы (фотоэлектрические барьеры);
• Различные типы кассет для пластин;
• Многообразие химических фильтров;
• Считыватель кодов;
• Сканер штрих-кодов;
• Поддержка транспортировки пластин 8 и 12 дюймов;
• Контейнеры с подачей азотной среды;
• Считыватель идентификационных кодов.

Условия и технические характеристики:

• Время безотказной работы ≥ 98%;
• Наработка на отказ ≥ 2 000 часов;
• Среднее время восстановления ≤ 0,5 часа;
• Средний цикл безотказной работы оборудования ≥ 10 000 циклов;
• Среднее время между запросами технической поддержки ≥ 750 часов;
• Уровень повреждения пластин (царапины) ≤ 1 / 100 000;
• Количество циклов работы без аварийных сигналов ≥ 30 000 циклов;
• Уровень сбоев при считывании ID пластин ≤ 0,5%.