Подходит для обработки пластинчатых изделий толщиной 4/6, 8/12 дюйма.
Технические характеристики
- Способы подачи и выгрузки: поддержка Foup, открытой кассеты, ящика для монет;
- Основные функции: включая автоматическое отображение, выравнивание насечек;
- Дополнительные функции: распознавание текста, считыватель штрих-кодов, SCES / GEM.
Технические параметры
|
Размеры |
W1440 X D1260 X H2250 |
|
Соответствующая коробка с пленкой |
300 мм FOUP 25шт (SEMI E47.1), FOSB 25 шт SEMI M31 или 300 мм FOUP с 8-дюймовой открытой кассетой Стандартный продукт SEMI E47.1, E62 |
|
Соответствующая пластина |
Толщина кремниевой пластины 200мм-300мм 0,4-1,0 мм |
|
Эффективность переноса пленки |
200 Штук в час |
|
Уровень чистоты |
Класс ISO2 (для использования в FFU) |
|
Загрузочный порт |
2 Порта |
|
Вес |
500 кг |
|
Заводские дела |
Источник питания: 220 В переменного тока частотой 50 Гц Сухой воздух: 0,5 МПа 10% вакуум: 0-53 кПа |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
EFEM |
По запросу |
JoomShopping Download & Support