Технические параметры
Влагозащищенная 3-осевая цилиндрическая роботизированная рука серии SWCR3000 (оснащена механизмом поворота 300-мм пластин + механизмом краевого захвата). Способна транспортировать полупроводниковые пластины в кислотных и щелочных средах в условиях производственного процесса LSI-полупроводников с классом защиты IP64.
Часть манипулятора покрыта тефлоновым покрытием для обеспечения коррозионной стойкости.
Водозащитная конструкция суставов манипулятора использует V-образные уплотнительные кольца.
Соединительные поверхности между деталями используют уплотнительные прокладки из материала Viton.
Водозащитная конструкция оси Z может использовать сильфон.
Оснащен монитором движения.
Способ управления и связи: RS232C и параллельный ввод/вывод (I/O).
Все оси используют двухфазные шаговые двигатели.
Управление ускорением/замедлением по S-кривой позволяет осуществлять высокоскоростную и высокоточную транспортировку полупроводниковых пластин.
Способы фиксации пластин: вакуумное всасывание, нижняя поддержка, краевой захват.
Может предоставлять оптимальные захваты в соответствии с фактическими условиями транспортируемых объектов и компоновки оборудования заказчика.
Среда применения: Атмосферные условия чистого помещения
Конфигурация манипулятора: Одноручная система
Радиус действия: 312 мм (от центра третьего сустава манипулятора)
Максимальный ход по вертикальной оси: 200 мм / 300 мм
Грузоподъемность: до 3 кг (на уровне третьего сустава манипулятора)
Перечень моделей продукции:
Модель SWCR3160CS-200-PM: максимальный ход по вертикали 200 мм
Модель SWCR3160CS-300-PM: максимальный ход по вертикали 300 мм
Данная модель представляет собой влагозащищенное исполнение 3-осевого цилиндрического робота-манипулятора, предназначенного для работы в чистых помещениях. Особенностью является специальная конструкция, обеспечивающая защиту от проникновения жидкостей и влаги, что позволяет проводить очистку оборудования с использованием моющих средств при сохранении требований к чистоте производственной среды.
Технические параметры
|
Транспортируемые объекты |
Кремниевые пластины до 300 мм |
|
Кинематическая схема |
Цилиндрические координаты |
|
Количество осей управления |
3 |
|
Тип двигателя |
2-фазные шаговые двигатели |
|
Рабочий диапазон |
От центра третьего сустава: 312 мм |
|
Скорость переноса (средняя) |
Ось R: 250 мм/сек |
|
Скорость переноса (максимальная) |
Ось R: 500 мм/сек |
|
Точность позиционирования |
Ось R: ≤49 мкм |
|
Высота транспортировки |
255 мм (от монтажной поверхности фланца до поверхности установки патрона) |
|
Повторяемость |
±0.2 мм |
|
Требования к подключению |
Питание: DC24V±10%, 15A |
|
Транспортируемые объекты |
Кремниевые пластины до 300 мм |
|
Кинематическая схема |
Цилиндрические координаты |
|
Количество осей управления |
3 |
|
Тип двигателя |
2-фазные шаговые двигатели |
|
Рабочий диапазон |
От центра третьего сустава: 312 мм |
|
Скорость переноса (средняя) |
Ось R: 250 мм/сек |
|
Скорость переноса (максимальная) |
Ось R: 500 мм/сек |
|
Точность позиционирования |
Ось R: ≤49 мкм |
|
Высота транспортировки |
255 мм (от монтажной поверхности фланца до поверхности установки патрона) |
|
Повторяемость |
±0.2 мм |
|
Требования к подключению |
Питание: DC24V±10%, 15A |
|
Спецификации контроллера |
|
|
Модель контроллера |
Серия C4000 |
|
Интерфейс управления |
RS232C и параллельный ввод/вывод (I/O) |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
SWCR3160CS |
По запросу |
JoomShopping Download & Support