3-осевой цилиндрический координатный манипулятор чистого помещения SSCR3090S

Технические характеристики

2-осевой цилиндрический координатный манипулятор чистого помещения серии SSCR3090S для сверхчистых помещений.
Предназначен для транспортировки малых пластин внутри полупроводникового производственного оборудования и контрольно-измерительной аппаратуры.
Оптимизация пространственных размеров манипулятора способствует миниатюризации оборудования.

• Стандартная длина манипулятора: 90 мм
• Совместимость с SSCR2090S-PM, кривошипно-рычажная конструкция, возможность изготовления манипуляторов без модуля оси Z по индивидуальному заказу
• Оснащение монитором контроля движения
• Способ управления и связи: интерфейс RS232C и параллельный I/O-интерфейс
• Все оси используют 2-фазные шаговые двигатели
• Управление ускорением/замедлением по S-образной кривой обеспечивает высокоскоростную и высокоточную транспортировку полупроводниковых пластин
• Способы фиксации пластин: вакуумное всасывание, нижняя поддержка
• Материал захвата: CFRP (углепластик), алюминиевый сплав, высокочистая керамика и другие доступные варианты
• Возможность подбора оптимального захвата в соответствии с типом перемещаемых объектов и компоновкой оборудования

Среда использования: Атмосфера чистого помещения
Конфигурация манипулятора: Однорычажная
Радиус действия: 175 мм (до центра сустава 3-го звена манипулятора)
Максимальный ход по вертикальной оси: 150 мм
Грузоподъемность: до 0,1 кг (только масса перемещаемого объекта, в суставе 3-го звена манипулятора)

Список модификаций продукции

Модель: Максимальный ход подъемной оси
SSCR3090S-150-PM: 150 мм

Технические параметры