Технические характеристики
Серия вакуумных 3-осевых цилиндрических роботов-манипуляторов SVCR3000. Предназначены для транспортировки кремниевых пластин внутри вакуумных камер. По сравнению с серией манипуляторов SVHR, грузоподъемность увеличена в 2 раза, обеспечивая лучшее соотношение цены и производительности. Сохраняется совместимость с манипуляторами серии SVHR, что упрощает модернизацию оборудования для клиентов.
Стандартная длина руки манипулятора: 160 мм, 190 мм, 260 мм, 330 мм
В суставах манипулятора используются магнитожидкостные уплотнительные устройства
Вакуумное уплотнение: магнитожидкостные уплотнители и сильфоны
Метод повышения чистоты: установка фильтров класса 5 мкм внутри руки
Оснащен монитором перемещений
Интерфейс управления и связи: RS232C и параллельный ввод/вывод (I/O)
Все оси приводятся в движение двухфазными шаговыми двигателями
Управление с S-образным профилем ускорения/замедления обеспечивает высокоскоростную и высокоточную транспортировку полупроводниковых пластин
Доступна опциональная комплектация с двухфазными шаговыми двигателями
Материалы захватного механизма: CFRP (углепластик), алюминиевый сплав, высокочистая керамика и другие варианты
Способы фиксации пластины: поддержка снизу, краевой захват с использованием собственного веса пластины
Возможность разработки оптимального захватного механизма под конкретные транспортируемые объекты и компоновку оборудования заказчика
Условия эксплуатации:
- Вакуумная часть: температура от 15°C до 50°C
- Приводной механизм: атмосферная среда чистого помещения, температура от 15°C до 40°C
Конфигурация манипулятора: Одноручная система
Радиус действия: 520 мм (от центра третьего сустава)
Максимальный ход по вертикальной оси: 20 мм / 40 мм
Грузоподъемность: 2 кг (в пересчете на третий сустав)
Перечень моделей продукции:
Модель SVCR3260-020-PM: максимальный ход по вертикали 20 мм
Модель SVCR3260-040-PM: максимальный ход по вертикали 40 мм
Данная модель представляет собой 3-осевой цилиндрический манипулятор для чистых помещений, предназначенный для работы в вакуумных условиях. Особенностью является разделение температурных режимов для вакуумной части и приводного механизма, что обеспечивает стабильную работу в различных производственных средах.
Технические параметры
|
Модель манипулятора |
SVCR3260-040-PM |
|
Транспортируемые объекты |
Кремниевые пластины до 300 мм |
|
Способ фиксации пластины |
Нижняя поддержка/Краевой захват с использованием веса пластины |
|
Кинематическая схема |
Цилиндрические координаты |
|
Количество осей управления |
3 |
|
Тип двигателя |
Двухфазные шаговые двигатели на всех осях |
|
Радиус действия (от центра третьего сустава) |
520 мм |
|
Угол поворота (ось θ) |
330° |
|
Ход по вертикали (ось Z) |
40 мм |
|
Скорость переноса (средняя) |
Ось R: 300 мм/сек |
|
Скорость переноса (максимальная) |
Ось R: 550 мм/сек |
|
Точность позиционирования |
Ось R: ≤82 мкм |
|
Высота транспортировки |
98 мм (от монтажной поверхности фланца до поверхности установки пластины на верхнем захвате) |
|
Спецификации контроллера |
|
|
Модель контроллера |
C4000 |
|
Интерфейс управления |
RS232C и параллельный ввод/вывод (I/O) |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
SVCR3260 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support