Технические характеристики
Серия вакуумных 3-осевых цилиндрических роботов-манипуляторов SVCR3000. Двух-захватная конструкция позволяет транспортировать в вакуумных камерах подложки массой до 4 кг. По сравнению с серией манипуляторов LVHR обладает лучшим соотношением цены и производительности.
В суставах манипулятора используются магнитожидкостные уплотнительные устройства.
Вакуумное уплотнение: магнитожидкостные уплотнители и сильфоны.
Метод повышения чистоты: установка фильтров класса 5 мкм на выпускных отверстиях внутри манипулятора.
Оснащен монитором перемещений.
Интерфейс управления и связи: RS232C и параллельный ввод/вывод (I/O).
Все оси приводятся в движение двухфазными шаговыми двигателями.
Управление с S-образным профилем ускорения/замедления обеспечивает высокоскоростную и высокоточную транспортировку полупроводниковых пластин.
Доступна опциональная комплектация с двухфазными шаговыми двигателями.
Материалы захватного механизма: CFRP (углепластик), алюминиевый сплав, высокочистая керамика и другие варианты.
Способы фиксации пластины: поддержка снизу, краевой захват с использованием собственного веса пластины.
Возможность разработки оптимального захватного механизма под конкретные транспортируемые объекты и компоновку оборудования заказчика.
Среда применения: Вакуум в атмосферных условиях чистого помещения
Конфигурация манипулятора: Одноручная система
Радиус действия: 640 мм (от центра третьего сустава манипулятора)
Максимальный ход по вертикальной оси: 60 мм
Грузоподъемность: до 10 кг (на уровне третьего сустава манипулятора)
Перечень моделей продукции:
Модель SVCR3330S-060-PM: максимальный ход по вертикали 60 мм
Данная модель представляет собой 3-осевой цилиндрический манипулятор для чистых помещений, специально разработанный для работы с посадочными основаниями и транспортировки подложек. Оборудование обеспечивает совместимость с различными типами производственных установок и поддерживает требования к чистоте производственной среды.
Технические параметры
|
Модель манипулятора |
SVCR3330S-060-PM |
|
Транспортируемые объекты |
2 подложки размером 342 мм (типовой размер) |
|
Способ фиксации |
Нижняя поддержка/Краевой захват с использованием веса пластины |
|
Кинематическая схема |
Цилиндрические координаты |
|
Количество осей управления |
3 |
|
Тип двигателя |
Двухфазные шаговые двигатели на всех осях |
|
Радиус действия (от центра объекта) |
1075 мм |
|
Угол поворота (ось θ) |
330° |
|
Ход по вертикали (ось Z) |
60 мм |
|
Скорость переноса (средняя) |
Ось R: 250 мм/сек |
|
Скорость переноса (максимальная) |
Ось R: 380 мм/сек |
|
Точность позиционирования |
Ось R: ≤65 мкм |
|
Повторяемость |
±0.2 мм |
|
Высота транспортировки |
188.5 мм (от монтажной поверхности фланца до поверхности захвата) |
|
Система уплотнений |
Вакуумное уплотнение: магнитожидкостные устройства и сильфоны |
|
Вакуумная стойкость |
1.33×10⁻⁶ Па |
|
Требования к питанию |
DC24V±10%, 11A |
|
Спецификации контроллера |
|
|
Модель контроллера |
C4000 |
|
Интерфейс управления |
RS232C и параллельный ввод/вывод (I/O) |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
SVCR3330S |
По запросу |
JoomShopping Download & Support