Технические характеристики
Серия 4-осевых цилиндрических роботов-манипуляторов STCR4000S для сверхчистых помещений. Предназначены для транспортировки кремниевых пластин внутри производственного и контрольно-измерительного оборудования для полупроводниковой промышленности. Двухрычажная конструкция позволяет сократить время операций по замене пластин.
Стандартная длина руки манипулятора: 100 мм, 130 мм, 160 мм, 200 мм. Двухрычажная конструкция сокращает время цикла замены пластин. В зависимости от требований оборудования доступны варианты крепления через основание или через фланец.
Оборудование оснащено монитором движения. Интерфейс управления и связи: RS232C и параллельный ввод/вывод (I/O). Все оси приводятся в движение двухфазными шаговыми двигателями.
Управление с S-образным профилем ускорения/замедления обеспечивает высокоскоростную и высокоточную транспортировку полупроводниковых пластин.
Способы фиксации пластины: вакуумный захват, поддержка снизу, захват по кромке, бесконтактный захват по принципу Бернулли.
Материалы захватного механизма: CFRP (углепластик), алюминиевый сплав, высокочистая керамика и другие доступные варианты.
Рабочая среда: Атмосфера чистого помещения (чистой комнаты)
Конфигурация манипулятора: Двухрычажная (Две независимые руки)
Радиус действия (вылет): 315 мм (от центра третьей оси манипулятора)
Максимальный ход по вертикальной оси (Z): 200 мм / 300 мм / 400 мм / 450 мм / 500 мм / 550 мм / 600 мм
Грузоподъемность: 3 кг (на конце манипулятора, от третьей оси)
Список моделей продукции:
- Модель STCR4160S-200-PM: Максимальный ход по вертикали 200 мм
- Модель STCR4160S-300-PM: Максимальный ход по вертикали 300 мм
- Модель STCR4160S-400-PM: Максимальный ход по вертикали 400 мм
- Модель STCR4160S-450-PM: Максимальный ход по вертикали 450 мм
- Модель STCR4160S-500-PM: Максимальный ход по вертикали 500 мм
- Модель STCR4160S-550-PM: Максимальный ход по вертикали 550 мм
- Модель STCR4160S-600-PM: Максимальный ход по вертикали 600 мм
Технические параметры
|
Параметр |
Значение |
|
Модель манипулятора |
STCR4160S-300-PM |
|
Модуль запястья |
SART08674 |
|
Захватное устройство |
SC-YW-240 |
|
Транспортируемый объект |
Кремниевые пластины до 300 мм |
|
Способ фиксации пластины |
Вакуумный захват |
|
Кинематическая схема |
Цилиндрические координаты |
|
Количество осей управления |
4 |
|
Тип двигателя |
Шаговые двигатели |
|
Радиус действия (от центра) |
575 мм |
|
Угол поворота (ось θ) |
340° |
|
Ход по вертикали (ось Z) |
300 мм |
|
Скорость переноса (средняя) |
Ось R: 570 мм/сек |
|
Скорость переноса (максимальная) |
Ось R: 1140 мм/сек |
|
Повторяемость |
±0,1 мм |
|
Класс чистоты |
ISO Класс 2 (с отводом выхлопа от привода) |
|
Требования к подключению |
Питание: DC24V±10%, 16A |
|
Масса манипулятора |
≈30 кг |
|
Спецификации контроллера |
|
|
Модель контроллера |
C4000 |
|
Интерфейс управления |
RS232C и параллельный I/O |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
SSY-20010 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support