Технические характеристики
Данный манипулятор способен транспортировать объекты к параллельно расположенным защитным дверям платформ даже без оси горизонтального перемещения. Гибкость компоновки обеспечивает свободу проектирования и снижает затраты.
Демонстрационное видео транспортировки доступно для псевдо-многоосевой конфигурации
3-осевой цилиндрический координатный манипулятор чистого помещения, соответствующий требованиям сверхчистых помещений.
Новая однорычажная конструкция для транспортировки пластин размером от 2 дюймов до 300 мм, сочетающая высокое соотношение цена/качество и скоростные характеристики, а также решающая проблему пропуска шагов, характерную для шаговых двигателей.
Среда использования: Атмосфера чистого помещения
Конфигурация манипулятора: Однорычажная
Радиус действия: 340 мм (от центра сустава 3-го звена манипулятора)
Максимальный ход по вертикальной оси: 200 мм / 300 мм / 400 мм / 450 мм / 500 мм
Грузоподъемность: 3 кг (в суставе 3-го звена манипулятора)
Список модификаций продукции
Модель: Максимальный ход подъемной оси
SCR3160CSN-200-CM: 200 мм
SCR3160CSN-300-CM: 300 мм
SCR3160CSN-400-CM: 400 мм
SCR3160CSN-450-CM: 450 мм
SCR3160CSN-500-CM: 500 мм
Технические параметры
|
Модель манипулятора |
SCR3160CSN-300-CM |
|
Перемещаемый объект |
Кремниевые пластины до 300 мм (возможно индивидуальное проектирование под нестандартные формы и материалы пластин) |
|
Способ фиксации пластины |
Вакуумное всасывание |
|
Кинематическая схема |
Цилиндрические координаты |
|
Количество осей управления |
3 |
|
Тип двигателей |
Шаговые двигатели |
|
Доступ до центра объекта |
552,7 мм |
|
Угол поворота (θ) |
340° |
|
Вертикальное перемещение (Z) |
300 мм |
|
Средняя скорость: ось R |
610 мм/сек |
|
Средняя скорость: ось θ |
340°/сек |
|
Средняя скорость: ось Z |
250 мм/сек |
|
Максимальная скорость: ось R |
1220 мм/сек |
|
Максимальная скорость: ось θ |
500°/сек |
|
Максимальная скорость: ось Z |
320 мм/сек |
|
Точность: ось R |
≤ 10,0 мкм |
|
Точность: ось θ |
≤ 0,0015° |
|
Точность: ось Z |
≤ 2,0 мкм |
|
Повторяемость |
±0,1 мм |
|
Класс чистоты |
ISO Class 2 (при отдельной вытяжке из приводных механизмов) |
|
Питание |
DC24V±10%, 10A |
|
Вакуум |
Выше -53 кПа |
|
Спецификация контроллера |
|
|
Модель контроллера |
C4000B |
|
Способ управления |
Последовательный интерфейс RS232C или параллельный оптический I/O-интерфейс |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
SCR3160CSN |
По запросу |
JoomShopping Download & Support