Технические характеристики
Соответствует стандартам SEMI Standard (E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
Высокая пропускная способность (600 пластин/ч)
Благодаря оптимизированному диапазону движения манипулятора обеспечивается плавная и высокоскоростная транспортировка пластин
Оснащен считывателем ID для чтения идентификационной информации пластин (опционально для обеих сторон пластины)
Среда использования: Атмосфера чистого помещения
Размер пластины: 300 мм
Перемещаемый объект: Кремниевые пластины
По вопросам технических характеристик продукта обращайтесь к нашим специалистам.
Пропускная способность: 600 пластин/час
Технические параметры
|
Тестовая конфигурация |
Инлайн-тип на 4 FOUP, 600 пластин/ч (с использованием 2 шарнирно-сочлененных манипуляторов) |
|
Соответствующие кассеты |
300 мм FOUP (25 пластин), соответствует стандартам SEMI E47.1, E62 |
|
Перемещаемый объект |
300 мм кремниевые пластины (толщина: 775 мкм) |
|
Пропускная способность |
600 пластин/час |
|
Класс чистоты |
ISO Class 2 (с использованием FFU) |
|
Габаритные размеры |
Ш 1233 мм × Г 2160 мм × В 2000 мм |
|
Масса |
Около 800 кг |
|
Питание |
Однофазный AC200V±15%, 15A |
|
Сжатый воздух |
0,7-0,4 МПа |
|
Вакуум |
Лучше -60 кПа |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Сортировочная система (инлайн-тип на 4 FOUP, 600 пластин/час) |
По запросу |
JoomShopping Download & Support