Технические характеристики
Соответствует стандартам SEMI Standard (E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
Калибратор может использоваться в качестве буфера для обмена пластинами, что эффективно повышает производительность передачи пластин оборудования (300 пластин/ч)
Установленный считыватель ID может считывать идентификационную информацию пластин (опционально для обеих сторон пластины)
Среда использования: Атмосфера чистого помещения
Размер пластины: 300 мм
Перемещаемый объект: Кремниевые пластины
По вопросам технических характеристик продукта обращайтесь к нашим специалистам.
Пропускная способность: 300 пластин/час
На фотографиях и видео демонстрируется продукция SORTER SYSTEM (инлайн-тип на 4 FOUP, 300 пластин/час).
Технические параметры
|
Соответствующие кассеты |
300 мм FOUP (25 пластин), соответствует стандартам SEMI E47.1, E62 |
|
Перемещаемый объект |
300 мм кремниевые пластины (толщина: 775 мкм) |
|
Пропускная способность |
300 пластин/час |
|
Класс чистоты |
ISO Class 2 (с использованием FFU) |
|
Габаритные размеры |
Ш 1250 мм × Г 2500 мм × В 1900 мм |
|
Масса |
Около 800 кг |
|
Питание |
Однофазный AC200V±10%, 2 кВА |
|
Сжатый воздух |
0,5 Мпа±10% |
|
Вакуум |
Лучше -53 кПа |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Сортировочная система (инлайн-тип на 4 FOUP, 300 пластин/час) |
По запросу |
JoomShopping Download & Support