Технические параметры
Система оснащена шарнирно-сочлененным манипулятором (GCR4310-500-AM), который способен обеспечивать транспортировку пластин одновременно для четырех 6-дюймовых кассет без необходимости горизонтального перемещения основного корпуса манипулятора.
Ход по оси Z 500 мм позволяет адаптироваться к двухуровневой компоновке кассет (верхний и нижний ярусы).
Манипулятор с механизмом поворота захвата предназначен для транспортировки перевернутых пластин без контакта с технологической поверхностью.
На запястье манипулятора может устанавливаться датчик картирования (Mapping Sensor) для обнаружения наличия/отсутствия пластин на каждом уровне кассеты.
В целях безопасности на дверях обслуживания установлены датчики положения, обеспечивающие защиту персонала во время работы манипулятора.
Опционально доступен калибратор SAL3361GR, способный обнаруживать стекло (прозрачные объекты).
Конструкция модулей интерфейса может быть изменена в соответствии с требованиями оборудования заказчика (способ связи с Host-системой требует отдельного согласования).
Кроме того, в зависимости от потребностей заказчика, возможное изготовление продукции с индивидуальными техническими характеристиками.
Среда использования: Атмосфера чистого помещения
Размер пластины: 150 мм
Перемещаемый объект: Стекло, сапфир, пластины GaAs
По вопросам технических характеристик продукта обращайтесь к нашим специалистам.
Пропускная способность: 140 пластин/час
Технические параметры
|
Перемещаемые объекты |
150 мм пластины (стекло, сапфир, GaAs) |
|
Производительность |
140 пластин/ч (без учета времени обработки оборудования) |
|
<GCR4210-500-AM> |
|
|
Рабочий диапазон |
|
|
Доступ до центра объекта |
672 мм |
|
Угол поворота (θ) |
335° |
|
Вертикальное перемещение (Z) |
500 мм |
|
Ось поворота |
180° |
|
Средняя скорость |
|
|
Ось R |
550 мм/сек |
|
Ось θ |
300°/сек |
|
Ось Z |
300 мм/сек |
|
Максимальная скорость |
|
|
Ось R |
900 мм/сек |
|
Ось θ |
400°/сек |
|
Ось Z |
450 мм/сек |
|
Без поворотного устройства |
|
|
Вакуумная транспортировка: ось R |
1800 мм/сек |
|
Вакуумная транспортировка: ось θ |
540°/сек |
|
Вакуумная транспортировка: ось Z |
500 мм/сек |
|
Повторяемость |
±0,1 мм |
|
<SAL3361GR> |
|
|
Точность позиционирования |
|
|
Центрирование |
±0,2 мм |
|
Позиционирование по срезу |
±0,2° |
|
Время определения положения |
Обнаружение выемки ≤3 сек (без повторного захвата) |
|
Диапазон коррекции положения |
В радиусе 4 мм |
|
<Система> |
|
|
Способ удержания пластины |
Вакуумное всасывание |
|
Класс чистоты |
ISO Class 2 (ISO14644) |
|
Занимаемая площадь |
640×835 мм (без сенсорного экрана) |
|
Масса |
Около 350 кг |
|
Питание |
Однофазный AC200V, 15A |
|
Вакуум |
Лучше -53 кПа (с вакуумными захватами) |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Сортировочная система 150 мм |
По запросу |
JoomShopping Download & Support