Технические характеристики
Соответствует стандартам SEMI Standard (E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
Калибратор может использоваться в качестве буфера для обмена пластинами, что эффективно повышает производительность передачи пластин оборудования (400 пластин/ч)
Благодаря оптимизации траектории движения манипулятора, возможно выполнение операций загрузки/выгрузки пластин в параллельно расположенные кассеты без необходимости установки оси горизонтального перемещения на основном корпусе манипулятора
Оптимизация рабочего диапазона манипулятора обеспечивает плавную и высокоскоростную транспортировку пластин
Установленный считыватель ID может считывать идентификационную информацию пластин (опционально для обеих сторон пластины)
Среда использования: Атмосфера чистого помещения
Размер пластины: 300 мм
Перемещаемый объект: Кремниевые пластины.
Пропускная способность: 400 пластин/час
На видео демонстрируется продукция SORTER SYSTEM (4 FOUP встречное расположение, 400 пластин/час).
Технические параметры
|
Тестовая конфигурация |
4 FOUP встречное расположение, 400 пластин/ч |
|
Соответствующие кассеты |
300 мм FOUP (25 пластин), соответствует стандартам SEMI E47.1, E62 |
|
Перемещаемый объект |
300 мм кремниевые пластины (толщина: 775 мкм) |
|
Пропускная способность |
400 пластин/час |
|
Класс чистоты |
ISO Class 2 (с использованием FFU) |
|
Габаритные размеры |
Ш 1756 мм × Г 1200 мм × В 1901 мм |
|
Масса |
Около 600 кг |
|
Питание |
Однофазный AC200V±15%, 20A |
|
Сжатый воздух |
0,7-0,4 МПа |
|
Вакуум |
Лучше -60 кПа |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Сортировочная система (инлайн-тип на 4 FOUP, 300 пластин/час) |
По запросу |
JoomShopping Download & Support