Технические характеристики
3-осевой цилиндрический координатный манипулятор чистого помещения серии SCR3000CS для сверхчистых помещений.
Предназначен для транспортировки кремниевых пластин внутри полупроводникового производственного оборудования и контрольно-измерительной аппаратуры.
- Стандартная длина манипулятора: 100 мм, 130 мм, 160 мм, 200 мм
- Возможность выбора между фиксацией на основании или фланцевом креплении в соответствии с требованиями оборудования
- Оснащение монитором контроля движения
- Способ управления и связи: интерфейс RS232C и параллельный I/O-интерфейс
- Все оси используют 2-фазные шаговые двигатели
- Управление ускорением/замедлением по S-образной кривой обеспечивает высокоскоростную и высокоточную транспортировку стеклянных подложек
- Способы фиксации пластин: вакуумное всасывание, нижняя поддержка, зажим кромки, бесконтактный метод Бернулли
- Материал захвата: CFRP (углепластик), алюминиевый сплав, высокочистая керамика и другие доступные варианты
- Возможность подбора оптимального захвата
Среда использования: Атмосфера чистого помещения
Конфигурация манипулятора: Однорычажная
Радиус действия: 340 мм (от центра сустава 3-го звена)
Максимальный ход по вертикальной оси: 200 мм / 300 мм / 400 мм / 450 мм / 500 мм / 550 мм / 600 мм
Грузоподъемность: 3 кг (в суставе 3-го звена манипулятора)
Список модификаций продукции
Модель: Максимальный ход подъемной оси
SCR3160CS-200-PM: 200 мм
SCR3160CS-300-PM: 300 мм
SCR3160CS-400-PM: 400 мм
SCR3160CS-450-PM: 450 мм
SCR3160CS-500-PM: 500 мм
SCR3160CS-550-PM: 550 мм
SCR3160CS-600-PM: 600 мм
Технические параметры
|
Модель манипулятора |
SCR3160CS-300-PM |
|
Модуль механизма запястья |
SARS00169 |
|
Захват |
SC-YW-240 |
|
Перемещаемый объект |
Кремниевые пластины до 300 мм |
|
Способ фиксации пластины |
Вакуумное всасывание |
|
Кинематическая схема |
Цилиндрические координаты |
|
Количество осей управления |
3 |
|
Тип двигателей |
Шаговые двигатели |
|
Доступ до центра объекта |
502,7 мм |
|
Угол поворота (θ) |
340° |
|
Вертикальное перемещение (Z) |
300 мм |
|
Средняя скорость: ось R |
610 мм/сек |
|
Средняя скорость: ось θ |
340°/сек |
|
Средняя скорость: ось Z |
250 мм/сек |
|
Максимальная скорость: ось R |
1220 мм/сек |
|
Максимальная скорость: ось θ |
500°/сек |
|
Максимальная скорость: ось Z |
320 мм/сек |
|
Повторяемость |
±0,1 мм |
|
Класс чистоты |
ISO Class 2 (при отдельной вытяжке из приводных механизмов) |
|
Питание |
DC24V±10%, 15A |
|
Вакуум |
Лучше -53 кПа |
|
Масса манипулятора |
Около 25 кг |
|
Спецификация контроллера |
|
|
Модель контроллера |
C4000 |
|
Интерфейс связи |
RS232C и параллельный I/O-интерфейс |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
SCR3160CS |
По запросу |
JoomShopping Download & Support