Технические характеристики
Серия MCR3000C для работы с 300-мм пластинами в сверхчистых помещениях.
Предназначена для транспортировки пластин внутри полупроводникового производственного оборудования и контрольно-измерительных установок.
Все оси оснащены серводвигателями переменного тока, что удовлетворяет требованиям высокоскоростной транспортировки.
Обладает лучшим соотношением цена/производительность по сравнению с серией MHR.
- Стандартная длина манипулятора: 160 мм, 200 мм
Возможность выбора между фиксацией на основании или фланцевом креплении в соответствии с требованиями оборудования
Оснащение монитором контроля движения
Способ управления и связи: интерфейс RS232C и параллельный I/O-интерфейс
Все оси используют серводвигатели переменного тока со встроенными абсолютными энкодерами
Управление ускорением/замедлением по S-образной кривой обеспечивает высокоскоростную и высокоточную транспортировку полупроводниковых пластин
Способы фиксации пластин: вакуумное всасывание, нижняя поддержка, зажим кромки, бесконтактный метод Бернулли
Материал захвата: CFRP (углепластик), алюминиевый сплав, высокочистая керамика и другие доступные варианты
Возможность подбора оптимального захвата в соответствии с типом перемещаемых объектов и компоновкой оборудования- Среда использования: Атмосфера чистого помещения
Конфигурация манипулятора: Однорычажная
Радиус действия: 400 мм (до центра сустава 3-го звена манипулятора)
Максимальный ход по вертикальной оси: 300 мм / 400 мм / 500 мм
Грузоподъемность: 4 кг (в суставе 3-го звена манипулятора)
Список модификаций продукции
Модель: Максимальный ход подъемной оси
MCR3160C-300-AM: 300 мм
MCR3160C-400-AM: 400 мм
MCR3160C-500-AM: 500 мм
Технические параметры
|
Модель манипулятора |
MCR3160C-300-AM |
|
Перемещаемый объект |
Кремниевые пластины до 300 мм |
|
Способ фиксации пластины |
Вакуумное всасывание, нижняя поддержка, зажим кромки |
|
Кинематическая схема |
Цилиндрические координаты |
|
Количество осей управления |
3 |
|
Тип двигателей |
Серводвигатели переменного тока (все оси) |
|
Доступ до центра объекта |
567,7 мм |
|
Угол поворота (θ) |
340° |
|
Вертикальное перемещение (Z) |
300 мм |
|
Средняя скорость: ось R |
1000 мм/сек |
|
Средняя скорость: ось θ |
360°/сек |
|
Средняя скорость: ось Z |
350 мм/сек |
|
Максимальная скорость: ось R |
1800 мм/сек |
|
Максимальная скорость: ось θ |
580°/сек |
|
Максимальная скорость: ось Z |
530 мм/сек |
|
Точность: ось R |
≤ 9,82 мкм |
|
Точность: ось θ |
≤ 0,0015° |
|
Точность: ось Z |
≤ 1,96 мкм |
|
Высота транспортировки |
639 мм (от монтажной поверхности до плоскости установки пластины) |
|
Повторяемость |
±0,1 мм |
|
Класс чистоты |
ISO Class 2 (при отдельной вытяжке из приводных механизмов) |
|
Питание |
Однофазный AC200V±10%, 3 кВА |
|
Вакуум |
Лучше -53 кПа (с вакуумными захватами) |
|
Спецификация контроллера |
|
|
Параметр |
Значение |
|
Модель контроллера |
C5000S |
|
Интерфейс связи |
RS232C и параллельный I/O-интерфейс |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
MCR3160C |
По запросу |
JoomShopping Download & Support