Технические характеристики
- Среда использования: Атмосфера чистого помещения: температура 15°C-40°C
Температура в технологической камере: до 50°C
Конфигурация манипулятора: Однорычажная
Радиус действия: 880 мм (от центра сустава 3-го звена манипулятора)
Максимальный ход по вертикальной оси: 20 мм / 32 мм / 40 мм / 60 мм / 320 мм
Грузоподъемность: до 10 кг (в суставе 3-го звена манипулятора)
Список модификаций продукции
Модель: Максимальный ход подъемной оси
LVHR3440S-020-SM: 20 мм
LVHR3440S-032-SM: 32 мм
LVHR3440S-040-SM: 40 мм
LVHR3440S-060-SM: 60 мм
LVHR3440S-320-SM: 320 мм
3-осевой цилиндрический координатный вакуумный манипулятор чистого помещения серии LVHR3000 для транспортировки стеклянных подложек.
Предназначен для перемещения стеклянных подложек внутри производственного оборудования жидкокристаллических дисплеев и контрольно-измерительной аппаратуры.
- Стандартная длина манипулятора: 330 мм, 440 мм, 500 мм, 550 мм
Грузоподъемность: до 10 кг (в суставе 3-го звена манипулятора)
Использование магнитожидкостных уплотнений в сочленениях манипулятора
Вакуумное уплотнение: магнитожидкостные уплотнения и сильфоны
Повышение чистоты: установка фильтров класса 5 мкм внутри манипулятора
Оснащение монитором контроля движения
Способ управления и связи: интерфейс RS232C и параллельный I/O-интерфейс
Все оси используют серводвигатели переменного тока со встроенными абсолютными энкодерами
Управление ускорением/замедлением по S-образной кривой обеспечивает высокоскоростную и высокоточную транспортировку стеклянных подложек
Материал захвата: CFRP (углепластик), алюминиевый сплав, высокочистая керамика и другие доступные варианты
Возможность подбора оптимального захвата в соответствии с типом перемещаемых объектов и компоновкой оборудования
Технические параметры
|
|
LVHR3440S-040-SM |
|
Перемещаемый объект |
Стеклянная подложка 730×920×1,1 мм (стандартный типовой размер) |
|
Кинематическая схема |
Цилиндрические координаты |
|
Количество осей управления |
3 |
|
Тип двигателей |
Серводвигатели переменного тока (все оси) |
|
Радиус действия (от центра сустава 3-го звена) |
880 мм |
|
Угол поворота (θ) |
±182° |
|
Вертикальное перемещение (Z) |
40 мм |
|
Скорость: ось R |
1320 мм/2,7 сек |
|
Скорость: ось θ |
180°/1,8 сек |
|
Скорость: ось Z |
40 мм/2,0 сек |
|
Точность: ось R |
≤ 13,5 мкм |
|
Точность: ось θ |
≤ 0,00097° |
|
Точность: ось Z |
≤ 0,61 мкм |
|
Высота транспортировки |
168,5 мм (от монтажной плоскости фланца до плоскости установки подложки) |
|
Повторяемость |
±0,2 мм |
|
Герметизация вакуума |
Магнитожидкостные уплотнения и сильфоны |
|
Вакуумная стойкость |
1,33×10⁻⁶ Па |
|
Питание |
Однофазный AC200V±10%, 2 кВА |
|
Спецификация контроллера |
|
|
Параметр |
Значение |
|
Модель контроллера |
Серия C5000S |
|
Интерфейс управления |
Последовательный интерфейс RS232C или параллельный оптический I/O-интерфейс |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
LVHR3440S |
По запросу |
JoomShopping Download & Support