3-осевой цилиндрический координатный манипулятор чистого помещения LHR3400C

Технические характеристики

• Среда использования: Атмосфера чистого помещения: температура 15°C-40°C
  
• Вакуумный манипулятор для чистых помещений
• Температура в вакуумной технологической камере: до 50°C
• Конфигурация манипулятора: Однорычажная
• Радиус действия: 1550 мм (до центра перемещаемого объекта)
• Максимальный ход по вертикальной оси: 400 мм / 500 мм / 600 мм / 760 мм / 900 мм / 1500 мм
• Грузоподъемность: 15 кг

Список модификаций продукции

Модель: Максимальный ход подъемной оси
LHR3400C-400-AM: 400 мм
LHR3400C-500-AM: 500 мм
LHR3400C-600-AM: 600 мм
LHR3400C-760-AM: 760 мм
LHR3400C-900-AM: 900 мм
LHR3400C-1500-AM: 1500 мм

• 3-осевой цилиндрический координатный манипулятор чистого помещения серии LHR3000 для работы со стеклянными подложками.
  Предназначен для транспортировки стеклянных подложек внутри производственного оборудования жидкокристаллических дисплеев и контрольно-измерительной аппаратуры.
  При ходе по оси Z 760 мм и более используется многоступенчатая конструкция оси Z, что позволяет обеспечить низкий уровень вибраций.
• Стандартная длина манипулятора: 400 мм, 500 мм, 700 мм
  Стандартный ход по оси Z (вертикальной): 400 мм, 500 мм, 600 мм, 760 мм, 900 мм, 1500 мм
  (оси Z 400 мм, 500 мм, 600 мм имеют односекционную конструкцию, могут отличаться от изображений на фотографиях)
  Грузоподъемность: до 15 кг (в суставе 3-го звена для длин 400 мм, 500 мм)
  до 40 кг (в суставе 3-го звена для длины 700 мм)
• Возможность выбора между фиксацией на основании или фланцевом креплении в соответствии с требованиями оборудования
  Оснащение монитором контроля движения
  Способ управления и связи: интерфейс RS232C и параллельный I/O-интерфейс
  Все оси используют серводвигатели переменного тока со встроенными абсолютными энкодерами
  Управление ускорением/замедлением по S-образной кривой обеспечивает высокоскоростную и высокоточную транспортировку стеклянных подложек
  Способы фиксации подложки: вакуумное всасывание, нижняя поддержка, зажим кромки, бесконтактный метод Бернулли
  Материал захвата: CFRP (углепластик), алюминиевый сплав, высокочистая керамика и другие доступные варианты
  Возможность установки различных датчиков на захват (калибровки, обнаружения, картирования и др.)
  Возможность подбора оптимального захвата в соответствии с типом перемещаемых объектов и компоновкой оборудования.

Технические параметры