5-осевой вакуумный манипулятор чистого помещения горизонтального шарнирно-сочлененного типа GTVCR5330

Технические характеристики

Среда использования: Атмосфера чистого помещения: температура 15°C-40°C
Температура в технологической камере: до 450°C
Конфигурация манипулятора: Однорычажная
Радиус действия: 635 мм (от центра сустава 3-го звена манипулятора)
Максимальный ход по вертикальной оси: 60 мм
Грузоподъемность: 4 кг (в суставе 3-го звена манипулятора)

Список моделей:

Модель: Максимальный ход подъемной оси
GTVCR5330: 60 мм

5-осевой вакуумный манипулятор обеспечивает снижение стоимости при сохранении функциональности и производительности предыдущей системы GTVHR5000.
Способен работать в вакуумной среде с линейной компоновкой рабочих камер, гибко адаптируясь к различным конфигурациям оборудования.
Оптимизация пространственных размеров манипулятора способствует уменьшению внутреннего объема вакуумных камер.

• Стандартная длина манипулятора: 280 мм, 330 мм
  Использование магнитожидкостных уплотнений в сочленениях манипулятора
  Вакуумное уплотнение: магнитожидкостные уплотнения и сильфоны
  Повышение чистоты: установка фильтров класса внутри манипулятора
• Двух-захватная конструкция сокращает время перемещения манипулятора при замене пластин
• Оснащение монитором контроля движения
  Способ управления и связи: интерфейс RS232C и параллельный I/O-интерфейс
• Все оси используют серводвигатели переменного тока со встроенными абсолютными энкодерами
• Управление ускорением/замедлением по S-образной кривой обеспечивает высокоскоростную и высокоточную транспортировку полупроводниковых пластин
• Материал захвата: CFRP (углепластик), алюминиевый сплав, высокочистая керамика и другие доступные варианты
• Способы фиксации пластин: нижняя поддержка, зажим кромки с использованием собственного веса пластины, фиксация положения с помощью трения уплотнительного кольца
• Возможность подбора оптимального захвата в соответствии с перемещаемыми объектами и компоновкой оборудования заказчика

Ключевые преимущества:

Сниженная стоимость при сохранении функциональности
Совместимость с вакуумными средами
Компактные размеры для уменьшения объема камер
Гибкость адаптации к различным конфигурациям оборудования
Разнообразие вариантов захвата и фиксации пластин

Технические параметры