Технические характеристики
Водозащищенная 4-осевая цилиндрическая роботизированная рука серии STWCR4000 (оснащена механизмом поворота пластин 300 мм + механизмом краевого захвата). Способна транспортировать полупроводниковые пластины в условиях воздействия кислотных и щелочных паров.
Стандартная длина руки манипулятора: 160 мм, 200 мм
Часть руки покрыта тефлоновым слоем для обеспечения коррозионной стойкости
Водозащитная конструкция суставов руки использует V-образные уплотнительные кольца
Соединительные поверхности между деталями используют уплотнительные полосы из материала Viton
Водозащитная конструкция оси Z может использовать сильфонный кожух
Двухручная конструкция сокращает время операций по замене пластин
Оснащена монитором движения
Интерфейс управления и связи: RS232C и параллельный ввод/вывод (I/O)
Все оси приводятся в движение двухфазными шаговыми двигателями
Управление с S-образным профилем ускорения/замедления обеспечивает высокоскоростную и высокоточную транспортировку полупроводниковых пластин
Способы фиксации пластины: вакуумный захват, поддержка снизу, краевой захват
Возможность предоставления оптимального захватного механизма в соответствии с транспортируемыми объектами и фактической компоновкой оборудования заказчика.
Наименование модели: STWCR4160
Среда эксплуатации: Атмосферные условия чистого помещения
Конфигурация манипулятора: Двухручная система
Радиус действия: 315 мм (от центра третьего сустава манипулятора)
Максимальный ход по вертикальной оси: 300 мм
Грузоподъемность: до 3 кг (на уровне третьего сустава манипулятора)
Перечень моделей продукции:
Модель STWCR4160-300-PM: максимальный ход по вертикали 300 мм
Данная модель представляет собой водозащищенное исполнение 4-осевого цилиндрического робота-манипулятора, предназначенного для работы в чистых помещениях. Особенностью является специальная конструкция, обеспечивающая защиту от проникновения жидкостей, что позволяет проводить очистку оборудования с использованием моющих средств.
Технические параметры
|
Модель манипулятора |
STCR4160SN-300-PM |
|
Модуль запястья |
SART09362 |
|
Захватное устройство |
Верхний захват: 3D-09371 |
|
Транспортируемый объект |
Кремниевые пластины до 300 мм |
|
Способ фиксации пластины |
Верхний захват: Вакуумный захват за периферийную область пластины |
|
Кинематическая схема |
Цилиндрические координаты |
|
Количество осей управления |
4 |
|
Тип двигателя |
Двухфазные шаговые двигатели на всех осях |
|
Радиус действия (от центра) |
625 мм |
|
Угол поворота (ось θ) |
340° |
|
Ход по вертикали (ось Z) |
300 мм |
|
Скорость переноса (средняя) |
Ось R: 400 мм/сек |
|
Скорость переноса (максимальная) |
Ось R: 800 мм/сек |
|
Повторяемость |
±0,1 мм |
|
Класс чистоты |
ISO Класс 2 (при условии отвода выхлопа от привода) |
|
Требования к подключению |
Питание: DC24V±10%, 16A |
|
Масса манипулятора |
≈30 кг |
|
Спецификации контроллера |
|
|
Параметр |
Значение |
|
Модель контроллера |
C4000 |
|
Интерфейс связи |
Последовательный RS232C или параллельный оптический I/O |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
| STWCR4160 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support