Технические характеристики
|
Модель |
GTCR5280 |
|
Рабочая среда |
Атмосфера чистого помещения |
|
Конфигурация манипулятора |
Однорычажная конструкция |
|
Максимальный ход по вертикальной оси |
300 мм |
|
Грузоподъемность |
4,0 кг (в составе 3-го звена манипулятора) |
Список моделей продукции
|
Модель |
Максимальный ход подъемной оси |
|
GTCR5280-300-AM |
300 мм |
5-осевой шарнирно-сочлененный манипулятор чистого помещения серии GTCR5000 для транспортировки 300-мм полупроводниковых пластин.
Конструкция с одним манипулятором и двойным захватом обеспечивает функциональность, аналогичную двухрычажным системам.
Предназначен для транспортировки пластин внутри производственного оборудования и контрольно-измерительных установок для 300-мм пластин.
Основные характеристики:
- Стандартная длина манипулятора:210 мм, 280 мм
- Один манипулятор может обслуживать:
- 2 FOUP (при длине 210 мм)
- 3 FOUP (при длине 280 мм)
- Конструкция с двойным захватомсокращает время перемещения манипулятора при замене пластин
- Варианты монтажа:возможность выбора между фиксацией на основании или фланцевом креплении
- Оснащенмонитором контроля движения
- Способ управления и связи:интерфейс RS232C и параллельный I/O-интерфейс
- Все оси используютсерводвигатели переменного тока со встроенными абсолютными энкодерами
- Оптимизированное управлениес S-образным профилем ускорения/замедления и траекторией движения обеспечивает высокоскоростную и высокоточную транспортировку полупроводниковых пластин
- Способы фиксации пластин:вакуумное всасывание, нижняя поддержка, зажим кромки, бесконтактный метод Бернулли
- Материал захвата:CFRP (углепластик), алюминиевый сплав, высокочистая керамика и другие доступные варианты
- Возможность подбораоптимального захвата в соответствии с типом объектов и компоновкой оборудования
Технические характеристики
|
Модель манипулятора |
GTCR5280-300-AM |
|
|
Перемещаемый объект |
Кремниевые пластины до 300 мм |
|
|
Способ фиксации пластины |
Вакуумное всасывание |
|
|
Кинематическая схема |
Горизонтальная шарнирно-сочлененная |
|
|
Количество осей управления |
5 |
|
|
Тип двигателей |
Все оси: серводвигатели переменного тока |
|
|
Рабочий диапазон |
||
|
Ось |
Параметры |
|
|
Доступ до центра объекта (R) |
953 мм |
|
|
Угол поворота (θ) |
335° |
|
|
Вертикальное перемещение (Z) |
300 мм |
|
|
Скорость перемещения |
||
|
Ось |
Скорость |
|
|
R |
833 мм/сек |
|
|
θ |
250°/сек |
|
|
Z |
300 мм/сек |
|
|
Точность и условия эксплуатации |
||
|
Параметр |
Значение |
|
|
Повторяемость |
±0,1 мм |
|
|
Класс чистоты |
ISO Class 2 (при отдельной вытяжке из приводных механизмов) |
|
|
Питание |
Однофазный AC200V±10%, 2 кВА |
|
|
Вакуум |
Лучше -53 кПа (с вакуумными захватами) |
|
|
Масса манипулятора |
≈50 кг |
|
|
Спецификация контроллера |
||
|
Параметр |
Значение |
|
|
Модель контроллера |
C5000S |
|
|
Интерфейс связи |
RS232C и параллельный |
|
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
GTCR5280 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support