6-дюймовая машина для проявки однородного клея MINI типа ACD6 COATER&DEVELOPER

Конфигурация устройства

1С1Д, 2С, 2Д

Материал подложки

Si, стекло, сапфир, GaAs, InP, GaN, SiC, LT, LN и т.д.

Ширина линии

≥0,35 мкм

Применимый процесс

G-линия, i-линия, PI

Области применения

MEMS, силовые устройства, интеграция радиочастот, оптическая связь, научные исследования и т.д.

Технические характеристики

·         Оборудование имеет компактную конструкцию и небольшую занимаемую площадь (ширина всего 1,1 м).

·         Полнофункциональная, с такими функциями, как EBR, BSR, RRC, автоматическое увлажнение и очистка насадок, а также дополнительные удобные игольчатые насадки; для замены.

·         Можно использовать. Два размера полностью совместимы, нет необходимости заменять детали.

·         Дополнительный контроль температуры проявителя фоторезиста, HMDS и других компонентов устройства.

Размер оборудования

1180*1450*2040 мм (Ш*Г*В)

Модель

Стоимость, доллары США

6-дюймовая машина для проявки однородного клея MINI типа ACD6 COATER&DEVELOPER.

Цена по запросу.