Оборудование для очистки от мокрого травления желобчатого типа (серия BC)

Технологический охват: Очистка RCA, мокрое обезжиривание, мокрое травление диэлектрического слоя, мокрое травление металлического слоя и т.д..

Области применения: карбид кремния, нитрид галлия на основе кремния и др.
Тип оборудования: Кассетное и безкассетное
Размер пластины: 150 мм - 300 мм
Технические характеристики

• Поддерживающая химическая жидкость C.C.S.S., L.C.S.S;
• Marangoni dry или spin dry;
• автоматическая замена кислоты, автоматическая регидратация, дозирование;
  контроль нагрева, концентрации, расхода, давления и т.д.;
• Защита резервуара от перегрева, каждое устройство оснащено датчиком утечки;
• Поддержка восстановления химической жидкости;
• Полная поддержка протокола SECS / GEMCommunication.

Индекс процесса：

• Равномерность травления: внутри кристалла: ≤ 4%; между кристаллами: ≤ 4%; от партии к партии: ≤ 4%；
  Контроль частиц：
• Добавленная стоимость<30 0.09 микрон (При тестировании пленки оксида кремния, поступающие частицы <50 штук)
  Ион металла：<5E9 атомов/см2