Оборудование для очистки от мокрого травления желобчатого типа (серия BC3100)

Тип оборудования: Очистка RCA, очистка ЗАТВОРА, очистка оксидного слоя, мокрое дегумирование и т.д.

Технологическое покрытие: Бескассетное
Размер пластины: 300 мм

Технические характеристики

Производственная мощность (расстояние между пластинами): 50 пластин (25 пластин / FOUP * 2) / половинный шаг 5 мм

Поддерживающая химическая жидкость C.C.S.S., L.C.S.S;
Marangoni dry, LPD dry;

• Автоматическая замена жидкости, регидратация;
• Контроль нагрева, концентрации, расхода, давления и т.д.;
• Защита от перегрева, обнаружение утечек, классификация и слив;
• Полностью поддерживает протокол связи SECS / GEM

Равномерность травления: <3%；
Контроль частиц：Добавленная стоимость <30шт при 60 нм, чистый кремний
Ион металла：<1E9 атомов/см2