Оборудование для очистки монолитов мокрым травлением (серия SC3100)

Области применения: Очистка RCA, очистка перед нанесением, очистка после травления, очистка после CMP, влажное травление, очистка перед EPI и т.д.
Размер пластины: 300 мм
Применение процесса: удаление частиц, удаление металлических загрязнений, удаление органических загрязнений, влажное обезжиривание, очистка спереди и сзади, травление и удаление оксидов, очистка алюминиевых соединений, очистка медных соединений.

Технические характеристики

• Производственная мощность: 300 штук в час
• 8 полостей
• 4FOUP может быть сконфигурирован для жидких лекарственных средств: DHF, SC1, SC2, DIO3, DICO2, IPA, доступна конфигурация обратного распыления.
  Автоматическая замена жидкости, регидратация
• Контроль нагрева, концентрации, расхода, давления и другие
  защита от перегрева, обнаружение утечек, классификация и слив
  полностью поддерживают протокол связи SECS / GEM