Печь быстрого отжига RTP CY-O1000-120I-T-RTP

Печь для быстрого отжига RTP - это мощное отопительное оборудование, независимо разработанное нашей компанией. Печь для быстрого отжига RTP нагревается импортной инфракрасной нагревательной трубкой. Форма новая, а конструкция разумная. Корпус печи и печная труба могут свободно скользить, что обеспечивает быстрое повышение и понижение температуры.

Технические характеристики

Размер трубы печи для быстрого отжига RTP составляет 120 мм, что позволяет разместить материал толщиной 4 дюйма непосредственно. Зона реакции образца находится в закрытой кварцевой камере, что значительно снижает вероятность косвенного загрязнения образца при завершении производственного процесса. Устройство оснащено сенсорным ЖК-экраном высокой четкости, а настройка данных эксперимента осуществляется полностью в графическом интерфейсе. Оно удобно и быстро в эксплуатации, что может значительно повысить эффективность вашего эксперимента. Оборудование зарезервировало быстрый интерфейс для работы с вакуумом и воздушными газами, и наша вакуумная система может использоваться вместе с системой смешивания газов.

Область применения 

Оборудование печи быстрого отжига может использоваться для быстрого термического отжига, быстрого термического окисления, быстрого термического азотирования, силицирования, диффузии, отжига составных полупроводников, отжига после ионной имплантации, легирования электродов, кристаллизации и уплотнения, анализа температуры плавления сплавов, нанесения тонких пленок и тому подобного.

Технические параметры