Данный продукт представляет собой печь для быстрого отжига, нагреваемую галогенной лампой, и может использоваться для быстрого термического отжига, быстрого термического окисления, быстрого термического азотирования, силицирования, диффузии, отжига составных полупроводников, отжига после ионной имплантации, легирования электродов, кристаллизации и уплотнения, анализа температуры плавления сплавов, нанесения пленок и т.д.
Технические характеристики
Данный продукт представляет собой печь для быстрого отжига, нагреваемую галогенной лампой, и может использоваться для быстрого термического отжига, быстрого термического окисления, быстрого термического азотирования, силицирования, диффузии, отжига составных полупроводников, отжига после ионной имплантации, легирования электродов, кристаллизации и уплотнения, анализа температуры плавления сплавов, нанесения пленок и т.д.
Оборудование в основном состоит из кварцевой вакуумной камеры, вакуумного насоса, блока водяного охлаждения и системы управления. В системе управления используется интеллектуальный измеритель температуры и сенсорный экран. Цифровой интерфейс настройки параметров и автоматический режим работы предоставляют пользователям отличную платформу для исследований и разработок. Камера печи перемещается влево-вправо, а расстояние до образца гибко регулируется.
Оборудование оснащено двухступенчатым роторно-лопастным насосом, преимуществами которого являются небольшие размеры, низкий уровень шума и отсутствие загрязнения нефтью.
Технические параметры
|
Модель |
CY-O1000-100I-T-RTP |
|
Технические характеристики труб печи |
Внутренний диаметр 100 мм, зона нагрева 400 мм, общая длина 550 мм Материал: кварц высокой чистоты |
|
Скорость нагрева |
0-200℃/с |
|
Скорость охлаждения |
Выше 200℃≤25мин |
|
Нагревательный элемент |
Галогенная лампа |
|
Вакуумный интерфейс |
KF16 |
|
Впускное отверстие |
Головка-пагода с воздушным шлангом наружного диаметра 10 мм |
|
Спецификация фланца |
фланец водяного охлаждения из нержавеющей стали φ100 вакуумным способом Интерфейс водяного охлаждения: быстроразъемный разъем φ10 мм |
|
Вакуумная система |
Двухступенчатый роторно-лопастной насос, скорость перекачки 1,1 л/с Максимальный вакуум: 10-1 па |
|
Система контроля температуры |
Интеллектуальный измеритель контроля температуры контроль температуры С защитой от перегрева Измерение температуры: термопара K-типа |
|
Охладитель воды |
Емкость резервуара для воды 9 л, Макс. высота подъема 10 м |
|
Впускное отверстие |
φ10 Пагодообразная головка |
|
Клапан для выпуска воздуха |
Ручной клапан выпуска воздуха |
|
Требования к питанию |
220 В, 50 Гц, 24 кВт |
|
Размеры |
1200 мм x 500 мм x 480 мм |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-O1000-100I-T-RTP |
По запросу |
JoomShopping Download & Support